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一种穆勒显微偏振像差校准方法及装置制造方法及图纸
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文档序号:21397332
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本发明公开一种穆勒显微偏振像差校准方法及装置,所述方法包括如下步骤:S1、分别对标准样本和实验样本进行如下图像采集步骤:使光在经过起偏模块、样本、物镜、检偏模块后到达CCD,利用CCD进行图像采集;其中样本是指所述标准样本和实验样本;S2、...
该专利属于清华大学深圳研究生院所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学深圳研究生院授权不得商用。
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