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一种基于共用电极的硅基集成光学相控阵芯片制造技术
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下载一种基于共用电极的硅基集成光学相控阵芯片的技术资料
文档序号:21397298
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发明公开了一种基于共用电极的硅基集成光学相控阵芯片。该芯片由如下部分组合构成:光栅耦合器(1)、输入连接波导(2)、级联分光器(3)、连接波导(4)、相位调制阵列(5)、输出连接波导(6)、出射阵列天线(7)。其基本原理是,激光器激光经光栅...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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