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本发明涉及一种在金属微孔内沉积类金刚石薄膜的装置和方法。本发明的目的是要在具有金属微孔结构的产品内进行均匀、高效的类金刚石薄膜的沉积。所提供的技术方案是：一种在金属微孔内沉积类金刚石薄膜的装置，包括真空室、微波源、等离子体源和基座，基座上设...
该专利属于西安工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安工业大学授权不得商用。

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