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本发明涉及在实施了热负荷的长条基板上不易产生褶皱、划痕等的长条基板的处理装置和处理方法。在将从放卷室(110)供给的长条基板(114)卷绕在成膜室(112)的筒辊(131)来实施溅射等的装置中，在筒辊的薄膜送入侧设置两组张力控制辊组(第一张...
该专利属于住友金属矿山株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友金属矿山株式会社授权不得商用。

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