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本实用新型公开了一种能够避免气体串气,同时能够保证混合气体均匀分布在硅片表面周围的太阳能电池抗PID装置。该太阳能电池抗PID装置,包括氮气和氧气单向混合装置、双氧发生器、气体混合均化装置以及气管;所述氮气和氧气单向混合装置与双氧发生器的进...该专利属于乐山新天源太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过乐山新天源太阳能科技有限公司授权不得商用。
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