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一种基于光子晶体平板微腔的磁场传感器制造技术
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文档序号:21376505
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本发明提供一种基于光子晶体平板微腔的磁场传感器,包括光子晶体平板和磁敏薄膜;光子晶体平板上设有若干阵列布置的空气孔;光子晶体平板上设有点缺陷微腔,磁敏薄膜覆盖在微腔表面;光子晶体平板上设有光子晶体波导。本发明将磁敏薄膜覆盖于光子晶体平板微腔...
该专利属于江苏大学所有,仅供学习研究参考,未经过江苏大学授权不得商用。
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