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本发明公开了一种MEMS空间电场强度传感器及测量系统及方法，包括MEMS芯片，在MEMS芯片内设置两组第一静电场微电机和第二静电场微电机，第一静电场微电机是主动驱动电机，且第一静电场微电机中产生的静电力会使得第一静电场微电机中的极板旋转的结...
该专利属于赵青所有，仅供学习研究参考，未经过赵青授权不得商用。

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