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本发明属于仪器仪表技术领域，具体为基于原子力显微镜的铁电膜宏/微观结构和电学性能联合测试系统。本发明系统包括分立设备：原子力显微镜、锁相放大器、交流信号源、直流信号源、加法电路、数据采集器、电脑；铁电膜上下表面镀有电极，构成顶电极和底电极；...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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