温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供一种用于感测工艺/设备测量数据的细小变化的方法和系统。根据本发明的实施例的数据变化感测方法基于参考数据和比较数据的统计分布提取部分，基于规范计算目标范围，并从提取的参考数据和比较数据之中辨别包括在目标范围中的数据以确定数据变化。因此，工...
该专利属于SK株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过SK株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。