下载一种基于压阻原理的电子式机油压力传感器的技术资料

文档序号:21371292

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本实用新型公开了一种基于压阻原理的电子式机油压力传感器,涉及传感器技术领域,该该机油压力传感器利用MEMS系统中的压阻式测量原理,采用陶瓷新材料作为传感器基础材料,工作时产品性能可靠、稳定,产品成本低,陶瓷芯体中采用烧结方案构筑的微纳结构电...
该专利属于智驰华芯(无锡)传感科技有限公司;无锡智行华芯高科技投资合伙企业(有限合伙)所有,仅供学习研究参考,未经过智驰华芯(无锡)传感科技有限公司;无锡智行华芯高科技投资合伙企业(有限合伙)授权不得商用。

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