下载一种阵列式微型气体压缩机的技术资料

文档序号:21371122

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于微流体传输与控制领域,具体涉及一种阵列式微型气体压缩机。设有圆台组的上盖安装在设有体腔组的箱体上,上盖的上进出口腔和箱体的下进出口腔与其内所安装的单向阀分别构成上进出口阀和下进出口阀;上盖的凸台置于箱体的孔腔内并使上盖的上出口腔与...
该专利属于浙江师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江师范大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。