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一种监测晶圆冷却温度的方法，包括：提供第一测试晶圆；在所述第一测试晶圆的表面形成第一绝缘层；对所述第一绝缘层底部的第一测试晶圆进行第一离子注入工艺，在进行第一离子注入工艺的过程中，对第一测试晶圆进行冷却处理工艺；进行所述第一离子注入工艺后，...
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