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两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台制造技术
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文档序号:21361290
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本发明公开了两平动一转动大行程无耦合并联压电微动平台,包括用作承载物体的动台面,动台面的下方间隙设有定台体,定台体的中间设有第一容纳槽,第一容纳槽间隙设有螺固于动台面的动台体;动台体还设有第一传导部、第二传导部和第三传导部;定台体在位于第一...
该专利属于宁波大学所有,仅供学习研究参考,未经过宁波大学授权不得商用。
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