下载两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台的技术资料

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本发明公开了两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,包括动台面,动台面下方间隙设有定台体,定台体内间隙设有动台体,动台体和动台面之间螺固有第一螺钉;动台体包括沿自身逆时针方向顺次垂直设置的第一边缘、第二边缘、第三边缘和第四边缘;定台...
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