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本实用新型涉及一种真空蚀刻装置的改进。其结构包括机体，机体上设有输送轮组、喷淋结构，其特征在于：所述输送轮组包括相互对应上轮组和下轮组，在上轮组上方设有真空吸管，所述真空吸管通过支撑块连接于上轮组上方，真空吸管通过连接管与真空吸管工作泵浦连...
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