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本发明公开了一种颗粒和粉体材料等离子体表面处理设备,包括真空外腔、真空内腔、颗粒搅拌机构及等离子体发生器,所述真空内腔设在真空外腔内,所述颗粒搅拌机构设在真空内腔内;所述真空外腔右侧设有真空抽气口及进气口,所述真空内腔包括反应仓及过滤网板,...该专利属于深圳市奥普斯等离子体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市奥普斯等离子体科技有限公司授权不得商用。
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