下载高阻抗匹配电光调制器电极的技术资料

文档序号:21317953

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本实用新型公开了高阻抗匹配电光调制器电极,包括地电极、热电极、衬底和电极主体,所述电极主体的底端设置有衬底,且衬底的顶端设置有二氧化硅缓冲层,所述电极主体的顶端均匀涂覆有抗反射膜,所述衬底顶部的两端设置有第一预留槽,且第一预留槽的内部均固定...
该专利属于派尼尔科技(天津)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过派尼尔科技(天津)有限公司授权不得商用。

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