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一种多晶硅还原炉电极结构制造技术
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下载一种多晶硅还原炉电极结构的技术资料
文档序号:21312762
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本实用新型公开了一种多晶硅还原炉电极结构,包括电极(1)和设于电极上的绝缘组件,绝缘组件包括敷设在电极上的绝缘功能层(4)、以及依次套装在绝缘功能层上的密封瓷环(5)和绝缘套(3),绝缘功能层处于电极的直筒段从电极头锥部以下延伸至托台(8)...
该专利属于新特能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新特能源股份有限公司授权不得商用。
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