下载图像传感器及其形成方法的技术资料

文档序号:21304887

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一种图像传感器及其形成方法,所述方法包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底的表面具有第一介质层;形成穿透硅通孔沟槽,所述穿透硅通孔沟槽贯穿所述半导体衬底以及所述第一介质层;形成格栅材料,所述格栅材料的一部分填充所述穿透硅通孔沟槽以形成穿透硅通...
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