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本发明提供了一种用于晶硅制绒的链式设备及单面倒金字塔制绒的制备方法，所述链式设备包括沿晶硅的移动方向依次排列的制绒槽、分片装置、去金属槽、背抛光槽、清洗槽和烘干槽，所述分片装置用于将上下叠置的两个硅片分离并传送至所述去金属槽中。本发明的链式...
该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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