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本发明公开了一种硅片的定位输送装置，包括机架，所述机架顶部设置有传送链板，所述传送链板顶部设置有两条平行的X轴导轨，所述X轴导轨顶部通过电动滑块安装有两条平行的Y轴导轨，所述Y轴导轨顶部通过电动滑块安装有硅片定位板，所述硅片定位板顶部设置有...
该专利属于浙江中晶新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江中晶新能源有限公司授权不得商用。

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