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本实用新型涉及一高精度稀释配气仪，包括气体流路和液体流路，其特征在于所述气体流路和液体流路与高温汽化混合装置连接；气体流路包括稀释气口、配比气口和与其相对应的两个气体质量流量控制器MFC，稀释气与配比气分别通过两个气体质量流量控制器MFC经...
该专利属于江苏春潮科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏春潮科技发展有限公司授权不得商用。

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