下载改善投影光路成像的方法及设备的技术资料

文档序号:21297515

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本发明公开一种改善投影光路成像的方法及设备,投影光路中具有用于成像的投影光束,投影光束的传播方向上设置有整形组件,整形组件用于减小投影光束的直径尺寸,其中改善投影光路成像的方法包括:沿x方向调整整形组件的位置;获取投影光束透射整形组件的第一...
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