下载校准方法及装置的技术资料

文档序号:21296837

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本发明提供了一种校准方法及装置,方法包括:流量控制器接收第一气体和第二气体;流量控制器对第一气体的流量和第二气体的流量进行控制,生成多个不同浓度的标气;导气装置接收流量控制器发送的多个不同浓度的标气和第一气体,并通过多个不同浓度的标气和第一...
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