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本发明公开了一种平面多角度的深槽及其加工方法，所述平面多角度的深槽，包括基板，基板上有多条切割深槽，所述切割深槽在基板的平面上呈多角度排布。所述加工步骤包括：（1）、使用光刻工艺在基板的表面形成多个腐蚀工艺槽；多个所述腐蚀工艺槽在所述基板表...
该专利属于苏州天步光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州天步光电技术有限公司授权不得商用。

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