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本发明的成膜用材料包含钇的氧氟化物，且费氏径为1.0μm～10μm，振实法表观堆密度TD与静置法表观堆密度AD的比率即TD/AD为1.6～3.5。成膜用材料通过水银压入法测定的直径为100μm以下的细孔的容积优选为1.0cm...
该专利属于日本钇股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日本钇股份有限公司授权不得商用。

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