下载一种图形化复合衬底的制备方法的技术资料

文档序号:21276406

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本发明提供了一种图形化复合衬底的制备方法,包括以下步骤:步骤1:将蓝宝石衬底放入激光切割机器上进行切割,在蓝宝石衬底表面形成由若干垂直交错排布的周期性沟道阵列;步骤2:在清洗后的蓝宝石衬底表面实现一层介质薄膜层;步骤3:在带有介质薄膜层的蓝...
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