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一种防X射线干扰的X射线平板探测器制造技术
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文档序号:21276276
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本发明公开了一种防X射线干扰的X射线平板探测器,包括像素矩阵以及外围电路。像素矩阵由薄膜光电二极管和薄膜晶体管开关器件组成,其中薄膜晶体管开关器件上方设置有用于屏蔽X射线的防护层,防护层优选钨金属薄膜。本发明的有益效果:本发明将电子器件优化...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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