下载扫描或聚焦离子束电镜连接透射电镜样品杆的转换装置的技术资料

文档序号:21271978

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本发明涉及材料测试技术,具体为一种扫描电镜、聚焦离子束电镜连接透射电镜样品杆的转换装置。该装置包括:用于连接透射电镜样品杆和样品舱侧壁的高真空圆形气密法兰和波纹管、用于承载透射电镜样品杆的支架结构、用于实现透射电镜样品杆三维空间运动的高精度...
该专利属于中国科学院金属研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。

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