下载一种基于声表面波和固体反射层薄膜体声波组合谐振器的技术资料

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一种基于声表面波和固体反射层薄膜体声波组合谐振器,所述组合谐振器包括压电基片、温度补偿层、金属叉指、至少一组反射层、第一电极、压电层和第二电极;所述金属叉指形成在基片上方,所述温度补偿层形成于基片上方且覆盖金属叉指,所述反射层形成在温度补偿...
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