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本实用新型公开了一种磁控溅射薄膜压力传感器芯体，包括杯形合金应变弹性体，所述合金应变弹性体上连接有金属电路板支撑环，所述在杯形合金应变弹性体顶部外表面由内向外依次溅射有三氧化二铝绝缘层、溅射薄膜电阻层、溅射三氧化二铝保护膜层以及Pt引线层。...
该专利属于宝鸡欧亚传感科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宝鸡欧亚传感科技发展有限公司授权不得商用。

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