下载一种晶圆背面减薄金属化方法的技术资料

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本发明公开的一种晶圆背面减薄金属化方法,包括如下步骤:(1)在晶圆的P型硅衬底上面外延N+型硅外延层和N‑型外延层;N+型硅外延层最终要作为器件的一个电极;N‑型硅外延层作为器件的有源区域;(2)在N‑型硅外延层的上表面制作器件的正面结构;...
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