下载一种气体检测装置的技术资料

文档序号:21245022

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本发明实施例涉及一种气体检测装置,应用于等离子体反应器的原位红外透射在线气体检测,其特征在于,包括:原位反应池(1)、红外光谱仪(2),以及设置于与所述原位反应池(1)中的等离子体反应器(3);其中,在所述原位反应池(1)中还设置有盛有固体...
该专利属于中国科学院力学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院力学研究所授权不得商用。

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