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本发明提供一种准分子激光器的温度控制装置和方法，该装置终端与水冷厂务主控器和水冷PID控制模块通过CAN总线进行通讯连接从而提高系统抗电磁干扰能力；通过终端有效实时对水冷厂务主控器和水冷PID控制模块采集的厂务水信息和温控信息进行信息存储和...
该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。

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