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本发明提供减小偏角分布和基板表面的高低差的GaN基板。GaN基板在表面具有Ga面和N面且由GaN单晶构成，其中，Ga面具有平面部和包围平面部的周围的曲面部，N面的偏角分布比Ga面的偏角分布大。...
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