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公开了一种可调光滤波器及其制造方法以及可调光滤波器组件。该方法可以包括将硅晶片减薄到特定厚度。特定厚度可以基于可调光滤波器的通带频谱。该方法还可以包括使用光学涂层来覆盖硅晶片的表面。光学涂层可以对光信号进行滤波并且可以基于通带频谱。该方法可...
该专利属于菲尼萨公司所有，仅供学习研究参考，未经过菲尼萨公司授权不得商用。

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