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本发明提供了一种本发明的MEMS红外探测微镜、装置及探测方法，利用红外发射单元发射红外光线，利用MEMS图像扫描单元获取物体的图像信息数据。其中，图像扫描单元采用的MEMS扫描微镜芯片上集成了红外发射单元、图像获取单元，可以伴随着反射镜沿扭...
该专利属于全普光电科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过全普光电科技（上海）有限公司授权不得商用。

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