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本发明提供了一种压力传感器，所述压力传感器可包括：第一晶片，所述第一晶片包括形成在其上的多个凹槽；第二晶片，所述第二晶片在所述多个凹槽上方粘合到所述第一晶片，其中所述第二晶片包括由设置在每个凹槽上方的所述第二晶片的区域限定的多个感测膜片，并...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。

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