温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于真空技术领域，具体涉及一种宽气压范围适用的残余气体分析系统。本发明包括分析腔、进气口(KF16)、上法兰、微调阀、电离规、残余气体分析仪、分子泵和前级泵，分析腔为圆形真空室，带有四个接口，其上端为DN100法兰，用于连接上法兰，中...
该专利属于核工业西南物理研究院所有，仅供学习研究参考，未经过核工业西南物理研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。