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一种平面薄膜结构的红外分子指纹传感器及其制备方法技术
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下载一种平面薄膜结构的红外分子指纹传感器及其制备方法的技术资料
文档序号:21197883
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本发明公开了一种平面薄膜结构的红外分子指纹传感器及其制备方法,所述的红外分子指纹传感器包括双层膜平面结构传感器和单层膜平面结构传感器,所述的双层膜平面结构传感器由硅(Si)衬底上的铜(Cu)和硒化锌(ZnSe)两层膜构成;所述的单层膜平面结...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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