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本发明用于洁净室的风扇组件，包括由一底板(4)、二相对侧壁(2a)及一上壁(2b)定义的一腔体(2)及用于将一层流气体引入朝向所述底板(4)的所述腔体(2)中的一入口单元(100)，所述腔体(2)以通过所述入口单元(100)引入的气体于内部...
该专利属于I·M·A·工业机械自动装置股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过I·M·A·工业机械自动装置股份公司授权不得商用。

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