下载单晶炉二次加料装置的技术资料

文档序号:21170055

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本发明公开了一种单晶炉二次加料装置,包括石英筒和保护套,其中,所述石英筒竖向设置,所述石英筒的外周面上设有向外凸出的石英支撑环;所述保护套适配地套设固定在所述石英支撑环的外表面上,使所述石英支撑环位于所述保护套内。本发明单晶炉二次加料装置使...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司授权不得商用。

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