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本实用新型公开了一种门体组件联动结构和原子沉积装置。门体组件联动结构用于和原子沉积装置中的双层加热腔室配合，包括安装台和门体组件，安装台上设置有滑轨和驱动电机，驱动电机通过丝杠带动门体组件在滑轨上运动。安装台靠近双层加热腔室位置设置有滚轮组...
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