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本专利提出了一种光控集成片上电感，属于微电子器件技术领域。其光控电感结构包括光磁材料，金属导线，二氧化硅隔离层以及硅基衬底。光磁材料线圈层为光控片上电感的主体部分，依附于衬底上，光磁材料感应光照变化，通过自身磁导率的变化来引起线圈整体磁导率...
该专利属于中国计量大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量大学授权不得商用。

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