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本发明提供一种清扫装置及清扫系统，用于集成电路制造，所述清扫装置主要由控制单元、吹扫单元以及吸除单元组成，可实现自动清洁功能，大大减少人力清洁成本，能够避免人工搬运和二次污染，具有方便性、安全性、经济性等优势，所述清扫装置及清扫系统可以集成...该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。