专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
西安交通大学
>
n型掺杂金刚石场板结构的场效应晶体管制造技术
>技术资料下载
下载n型掺杂金刚石场板结构的场效应晶体管的技术资料
文档序号:21144368
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了n型掺杂金刚石场板结构的场效应晶体管,包括金刚石衬底,金刚石衬底上铺设有由n型掺杂单晶金刚石外延薄膜形成的台面,台面上沉积有两个条形的介质层,沿各介质层和台面的外沿分别铺设有漏极和源极,在两个介质层之间铺设有栅极,介质层、漏极、...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。