下载n型掺杂金刚石场板结构的场效应晶体管的技术资料

文档序号:21144368

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本发明公开了n型掺杂金刚石场板结构的场效应晶体管,包括金刚石衬底,金刚石衬底上铺设有由n型掺杂单晶金刚石外延薄膜形成的台面,台面上沉积有两个条形的介质层,沿各介质层和台面的外沿分别铺设有漏极和源极,在两个介质层之间铺设有栅极,介质层、漏极、...
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