下载一种放置硅片的花篮装置的技术资料

文档序号:21144216

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本申请公开了一种放置硅片的花篮装置,包括带有轮齿的侧杆、底杆、带有轮齿的压杆、相对设置的支撑台柱,底杆的两端分别连接在支撑台柱的底端,侧杆的两端分别连接在支撑台柱横向的两端,且位于底杆的上方,压杆位于支撑台柱的顶端,侧杆上的轮齿为带有通孔的...
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