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本发明提供一种超级结的及其制造方法、超级结的深沟槽制造方法，该超级结的深沟槽的制造方法，通过高分子聚合物气体对形成在衬底或者形成在衬底的外延层上的掩模层进行刻蚀形成硬掩模板，采用阶梯式递增的气体压力通过所述硬掩模板对所述衬底或者形成在衬底上...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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