下载电阻式薄膜压力传感器的技术资料

文档序号:21141605

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一种电阻式电阻式薄膜压力传感器,包括第一导电结构、第二导电结构、以及设置于第一导电结构与第二导电结构之间的隔离结构,所述第一导电结构包括第一基材、形成于第一基材上的导电线路层、以及覆盖于所述导电线路层上的高阻碳油层,所述第二导电结构包括第二...
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