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本发明公开了一种薄膜压力传感器中的敏感薄膜，该敏感薄膜的材料为(NimCr1‑m)1‑x‑yTaxNy；其中，m为0.1～0.9，x为0.05～0.4，y为0.05～0.4。本发明还公开了一种薄膜压力传感器，其包括传感器芯体，该传感器芯体包...
该专利属于西安交通大学苏州研究院所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学苏州研究院授权不得商用。

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